薄膜電阻與電容之優點可將其興披散電阻比較而獲得之，一般其優點如下:
1.寄生電容與串聯電阻小。
2.可得膠大的組件值。
3.溫度系數低。
4.組件值挫制易。
此外，由般薄膜組件有較高電阻系數與介質常數，通常其所占面積小(不需要隔離擴散)。